【Author】 DONG Lijian;YUAN Wenquan;WU Zhihui;NI Mingyang;ZHANG Wei;State Key Laboratory of Applied Optic,Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences;
【机构】 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所超精密中心；
【摘要】 采用数值模拟的方法开展光刻物镜镜组的跌落分析,结合数值寻优的方式,以光刻物镜所能承受的最大加速度为约束条件确定缓冲结构的尺寸参数,并通过跌落实验验证数值仿真的准确性与可靠性,进而指导超精密光刻物镜缓冲包装的参数设计。利用此方法对质量为10kg、镜片口径为160mm,径厚比为8.89光刻物镜镜组进行缓冲结构设计,实验结果表明,其从10cm高度跌落后最大加速度为4.4 g,面形变化仅为0.36nm,满足超精密光学设备的动力学指标要求。 更多还原
【关键词】 物镜镜组； 数值模拟； 跌落分析； 实验验证；
